您现在的位置是:百科 >>正文
ASML要慌:EUV光刻机新光源出现,成本降50%,功耗降80%
百科931人已围观
简介目前全球仅有ASML一家能够生产EUV光刻机,而制造7nm以下芯片,又必须使用到EUV光刻机,所以ASML相当于卡住了全球先进晶圆厂的脖子。于是ASML推出的1.5亿欧元的标准EUV光刻机,台积电等厂 ...
目前全球仅有ASML一家能够生产EUV光刻机,慌E耗降而制造7nm以下芯片,光刻光源又必须使用到EUV光刻机,机新降功所以ASML相当于卡住了全球先进晶圆厂的出现成本脖子。
于是慌E耗降ASML推出的1.5亿欧元的标准EUV光刻机,台积电等厂商不得不买,光刻光源后来再推出3.5亿欧元的机新降功High NA EUV光刻机,intel们继续买。出现成本
靠着这样不断升级EUV光刻机,慌E耗降ASML赚的光刻光源盆满钵满。
而为了垄断EUV光刻机生意,机新降功ASML将EUV光刻系统上的出现成本众多供应链,捆绑在了自己战车,慌E耗降收购的光刻光源收购,投资的机新降功投资,反正让其它竞争对手,没有合作的机会。
比如蔡司,比如TRUMPF、比如Cymer等,均绑上了ASML战车。
可以说,其它企业,如果想走ASML的路线来造EUV光刻机,基本没戏,除非换一条新道路,才有可能性。
而近日,这条新道路出现了,EUV光刻机中,最重要的EUV光源部分,有了新的解决方案,且新方案,比旧方案,成本更低,功率更高,技术更为先进。
旧方案中,产生EUV光线,是非常麻烦的,方案叫做”激光等离子体EUV光源(EUV-LPP)“,是用二氧化碳激光器,轰击锡金属液滴,将这些锡珠蒸发成等离子体,放射出极紫外线(EUV)了,再通过透镜,对EUV进行收集。
这个过程非常复杂,成本也非常高,同时功率转化率非常低,大约只有3-5%的转化率。所以现在的EUV光刻机都是电老虎,就是因为功率转化率非常低,最终能够使用的功率也低。
而新的方案叫做自由电子激光器(FEL),用这种方案,同样能够生产EUV光源,让来自电子加速器的电子束在波荡器中发光,然后再放大FEL光,得到EUV--FEL光源。
与旧方案相比,一旦成本低多了,不需要锡球,再用二氧化碳激光器来激发,同时功率转化损失也不会非常大。
按照说法,如果采用EUV FEL方案来制造光刻机,EUV光刻机的制造成本降了很多,可能只有原先的一半都不到。
更重要的是,因为功率转化高多了,不像以前只有3-5%,现在可以高达30%以上,后续EUV光刻机也不会成为电老虎,耗电量大大降低,变为原来的五分之一,都有可能。
不仅如此,EUV-FEL还可以升级为BEUV-FEL,产生更短的波长(6.6-6.7 nm),比EUV的13.5nm波长更知,这样分辨率更高,能制造更先进的芯片。
所以很多科学家表示,EUV-FEL光束明显更适合作为EUV光刻机的光源。
目前美国、日本已经有机构在研究这种EUV-FEL技术,按照说法,虽然短时间之内,还无法利用这个技术制造出EUV光刻机,但相信也不会太久了,也许三年、五年就能够制造出来了。
不知道ASML怎么看?一旦这种EUV光刻机面市,那么对整个EUV光刻机生态,将面临大洗牌,那么全球半导体格局都会发生巨大变化,不知道ASML慌不慌?
Tags:
相关文章
菲侵闯南沙鲎藤礁 中国海警依法处置
百科【大公报讯】据中新社报道:中国海警局6日发布消息,中国海警局新闻发言人甘羽表示,4月4日,菲方组织多艘船只非法位中国南沙群岛鲎藤礁邻近海域活动,中国海警依法依规处置,现场操作专业规范。 发言人 ...
【百科】
阅读更多成龙新片预告被吐槽像网大,投资3.5亿,质感不及20年前《神话》
百科2024年过半,电影市场又要迎来一个重要档期了,那就是暑假档!相比较主打短期爆发的春节档,暑假档战线更长,片子与片子之间竞争更小,对于电影题材的包容性也更高,片方宣发压力自然减轻,不少大场面电影就瞄准 ...
【百科】
阅读更多2名失联驴友去世后续:曝遇难女子是退休老师,退休工资9000元
百科谁也不知道明天和意外哪一个先到来,自以为很安全的户外探险,没想到却成为了生命的终结,令人惋惜,更多的是深思!6月4日,经过三天的搜救,浙江石人峡2名落水驴友确认遇难,据救援人员透露,两人是在瀑布下面溪 ...
【百科】
阅读更多